حضور در پانزدهمین نمایشگاه بین المللی محیط زیست

نانوسورد، دستگاه آنالیز دفع و جذب شیمیایی و تعیین سطح ویژه مواد

دستگاه LPCVD از رکن های اصلی آزمایشگاه هایی است که در زمینه ی نانوالکترونیک و یا سیستم های الکترومکانیکی فعالیت می کنند می باشد. لایه ی پلی سیلیکان هم به عنوان گیت ترانزیستورها به کار می رود و هم به عنوان لایه ی قربانی در فرآیندهای ماشین کاری بدنه. برای زدایش کامل قرص سیلیکان و ایجاد غشاء سیلیکانی نیاز به لایه ی محافظ نایتراید سیلیکان می باشد.