LPCVD

دستگاه  LPCVD از رکن های اصلی آزمایشگاه هایی است که در زمینه ی نانوالکترونیک و یا سیستم های الکترومکانیکی فعالیت می کنند می باشد. لایه ی پلی سیلیکان هم به عنوان گیت ترانزیستورها به کار می رود و هم به عنوان لایه ی قربانی در فرآیندهای ماشین کاری بدنه. برای زدایش کامل قرص سیلیکان و ایجاد غشاء سیلیکانی نیاز به لایه ی محافظ نایتراید سیلیکان می باشد. اکسید سیلیکان نیز که از اجزای اصلی پروسه های MEMS می باشد.

با توجه به کاربردهای وسیع این دستگاه, اولین نمونه ی آن در اختیار آزمایشگاه نانوالکترونیک دانشگاه تهران قرار گرفت.

 

برای سفارش محصول و دریافت اطلاعات بیشتر به اینجا مراجعه نمایید.